真空电火花光谱诊断技术通过在真空腔体内布置探测电极，并施加高压脉冲产生电火花烧蚀固体表面生成等离子体，收集并分析等离子体光谱来获取固体表面的成分变化信息，实现对真空腔体表面的原位实时诊断。 该技术是对激光诱导击穿光谱（LIBS）的补充，相比于LIBS具有设备轻便、诊断范围不受窗口视角限制、诊断效果不受窗口透过率影响等优势。
高压脉冲电源最大输出电压：-10 kV
放电能量：5~12.2 J，连续可调
光谱波长范围：400~716 nm
真空电火花光谱诊断系统可以应用于真空腔体固体表面的实时成分诊断及类似场景。
